应力测量仪 
Stress measuring instrument

基于双折射测量原理，对光学材料、光学镜头（光刻机镜头）、晶体、光伏材料、显示面板、塑料薄膜及生物样本进行精密应力测量，测量范围最大可达300nm，精度可达0.01nm。